利记

利记科技参股企业——新阳硅密（上海）半导体手艺有限公司（以下简称“新阳硅密半导体”），由上海新阳半导体质料有限公司与硅密四新半导体手艺（上海）有限公司于2016年4月重组建设。公司注册资金7800万元，拥有3000平米厂房面积，具备1000平米万级清洁车间及业内领先的半导体电镀工艺专业级实验室，并建设了行业领先的半导体晶圆级湿制程电镀装备及半导体湿法装备与化学药液一体化工艺服务平台。

公司专注于半导体湿法制程电镀装备及相关湿法装备的研发、生产、销售及服务，主要产物有InnovaSYS单晶圆电镀装备、CleanSYS批ci式洗濯刻蚀装备等。

服务案例：

?  北京有研，整条洗濯建线

?  上海新傲，洗濯工艺升级刷新

?  南京国盛，洗濯工艺升级刷新

?  浙江金瑞泓，洗濯工艺升级刷新

?  洛阳麦斯克，洗濯工艺升级刷新

?  46所，洗濯工艺升级刷新

?  TI CFAB DNS 820.C安装及装备模组刷新

?  TI CFAB DNS 820.L安装及装备模组刷新

?  TI CFAB SCP 9400 安装及刷新

?  TI CFAB（43套）自动CO2检测/灭火系统设计与刷新

?  BCD 12湿法装备安装及刷新，包罗KAIJO，DNS，SEMITOOL

?  GSMC Akrion/SCP 9400 Pre-Clean湿法装备安装/刷新

?  GSMC Akrion/SCP 9400有机溶剂湿法装备安装/刷新

?  BCD纯水加热系统安装刷新

?  TSMC（9套）Kaijo及DNS自动CO2检测/灭火系统设计与刷新

?  SIMBCD 5”升级为6”的整条线湿法装备项目

?  IMECAS 5”升级为6”的整条线湿法装备项目

?  华润晶芯6”26台湿法装备工艺交付

?  上海贝岭6”整条线湿法装备项目

?  SMIC成都（TI）8”线移机项目

?  Tech Semiconductor移机项目

?  TSMC从Atmel（England）移机的湿法装备移机项目

?  台积电DNS湿法装备SOM改SPM装备模组刷新

?  SK Hynix WuXi（4套）自动CO2检测/灭火系统设计与刷新

?  中芯FAB1所有E200湿法装备安装及工艺调试

?  CSMC KAIJO有机溶剂湿法装备兆声波机加热器刷新

?  SKY SILICON DNS 820.C装备模组刷新

?  SMIC 7台12寸JET BW3000 PRStrip移机及工艺调试项目

?  士兰3台12寸JET BW3000 PR Strip翻新机项目

?  GSMC SEMITOOL有机溶剂湿法装备安装/自动CO2灭火系统